在半導體制造領(lǐng)域，投影光刻機作為核心工藝設(shè)備，其工作環(huán)境對振動控制的要求極為苛刻。SSB260/20T型投影光刻機憑借高精度和高速運算能力在光刻過程中實現(xiàn)微米級圖案轉(zhuǎn)移，而微小的機械振動都可能導致圖案偏移和工藝缺陷。因此，采用高性能的減震系統(tǒng)成為確保設(shè)備穩(wěn)定運行的關(guān)鍵技術(shù)。SDS橡膠波紋減震器正是在這種需求背景下誕生，其通過獨特的波紋橡膠結(jié)構(gòu)設(shè)計，有效吸收和隔離振動能量，保障光刻過程中的精密控制。
SDS橡膠波紋減震器主要由內(nèi)膠層、加強布層和外膠層構(gòu)成，外觀呈現(xiàn)出均勻的波紋結(jié)構(gòu)。這種設(shè)計不僅賦予了減震器優(yōu)異的柔性和彈性，同時大大提高了其承載能力和耐疲勞性能。工作時，當設(shè)備受到機械振動或沖擊時，波紋結(jié)構(gòu)可以迅速變形，通過橡膠的內(nèi)聚能量將振動能量轉(zhuǎn)化為熱能，從而有效降低振動幅度，防止其傳遞至光刻機的核心光學系統(tǒng)。
在SSB260/20T型投影光刻機中，SDS橡膠波紋減震器發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。首先，減震器能夠在低頻和高頻振動范圍內(nèi)均實現(xiàn)有效隔離，確保設(shè)備在啟動、運轉(zhuǎn)及停止過程中始終保持穩(wěn)定狀態(tài)。其次，波紋結(jié)構(gòu)設(shè)計使得減震器具有較大的相對位移補償能力，可以適應(yīng)設(shè)備在運行過程中因熱膨脹或安裝誤差引起的微小變形，從而維持光刻機各部件之間的精確對位。與此同時，其出色的抗老化性能和耐高溫特性，保證了設(shè)備在長時間連續(xù)運轉(zhuǎn)下依然能夠維持穩(wěn)定的減震效果，延長了設(shè)備的使用壽命。
